WebMar 12, 2024 · 硼磷硅玻璃(Boro-phospho-silicate Glass，BPSG)，即摻雜了硼和磷的二氧化硅作為第一層金屬前介電質(PMD)以及金屬層間介電質(AVID)在IC製造中有着廣泛的應用。二氧化硅原有的有序網絡結構由於硼磷雜質(B2O3、P2O5 )的加入而變得疏鬆，在高温條件下某種程度上具有像液體一樣的流動能力( Reflow )。因此BPSG薄膜 ... http://www.jcog.jp/document/9515.htm

半導体プロセス技術の進歩と課題

Webホウリンケイ酸ガラス (Borophosphosilicate glass, BPSG) とは、ホウ素とリンを含むケイ酸ガラスの一種である。 リンケイ酸ガラスやホウリンケイ酸ガラスは半導体デバイス製造において、金属層や導電層の間の絶縁層として利用されている。. ホウ素10が宇宙線の熱中性子の優れた補足体であるため ... Websachika (@schk_maru) on Instagram: ". \重ね塗りで印象かわる爵／ SNSで人気の haomii（ @haomii_official ）のテ ..." crypto legions v2

熱工程 寺子屋みほ

http://www.shmj.or.jp/museum2010/exhibi436.htm WebBPSG膜は非常に吸湿性が高いため、標準試料の保管には変質を防ぐために窒素デシケーターや真空デシケーター等の清潔で乾燥された雰囲気が用いられている。 また、分析装置自体に試料を保管するための真空保管室を有する装置も提案されている（例えば、特許文献1参照）。 特開平6−331574号公報... Web6.3BPSG(boron-phosphosilicateglass) この膜は,一 般的に常圧CVD法 で堆積される。 成膜温度く500℃ 。 用途としては,ゲ ートと上部 配線間の絶縁膜として用いられ,プ ロセス … cryptomines acabou